中文名称：六甲基二硅氮烷；六甲基二硅亚胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷；六甲基二硅胺烷 
英文名称：Hexamethyldisilazane
EINECS号：213-668-5 
分子式：C6H19NSi2 
分子量161.39 
化学性质：无色透明液体、无毒、略带胺味 
熔点：-78 °C
沸点：125 °C(lit.)
密度：0.774 g/mL at 25 °C(lit.)
折射率：n20/D 1.407(lit.)
闪点：57.2 °F
储存条件：2-8°C
HazardClass：3
PackingGroup：II
用途：用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。硅烷化试剂，生产上可用于西胺卡那霉素。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。